三豐表面輪廓儀是利用光學(xué)顯微技術(shù)、白光干涉掃描技術(shù)、計(jì)算機(jī)軟件控制技術(shù)和PZT垂直掃描技術(shù)對(duì)工件進(jìn)行非接觸測量,還原出工件3D表面形貌宏微觀信息,并通過軟件提供的多種工具對(duì)表面形貌進(jìn)行各種功能參數(shù)數(shù)據(jù)處理,實(shí)現(xiàn)對(duì)各種工件表面形貌的微納米測量和分析的光學(xué)計(jì)量儀器。
今天咱們就來聊一聊三豐表面輪廓儀的操作方法:
1、將樣品放置在載物臺(tái)鏡頭下方。檢查電機(jī)連接和環(huán)境噪聲,確認(rèn)儀器狀態(tài),
2、使用操縱桿調(diào)節(jié)Z軸,找到樣品表面干涉條紋。微調(diào)XY軸,找到待測區(qū)域,并重新找到干涉條紋。
3、完成掃描設(shè)置和命名等操作。點(diǎn)擊開始測量(進(jìn)入3D視圖窗口旋轉(zhuǎn)調(diào)整觀察一會(huì)),進(jìn)行校平。
4、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“校平”圖標(biāo),和平面樣品不同,臺(tái)階樣品需手動(dòng)選取基準(zhǔn)區(qū)域,選好基準(zhǔn)區(qū)域后,先“全部排除”再“包括”。
5、若樣品表面有好幾處區(qū)域均為平面且高度一致,可多選擇幾個(gè)區(qū)域作為基準(zhǔn)面進(jìn)行校平。
6、臺(tái)階高度測量:線臺(tái)階高度測量。
7、進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺(tái)階高度”圖標(biāo),即可直接獲取自動(dòng)檢測狀態(tài)下的面臺(tái)階高度相關(guān)數(shù)據(jù)。
8、在右側(cè)點(diǎn)擊“手動(dòng)檢測”,根據(jù)需求選擇合適的形狀作為平面1和平面2的測量區(qū)域,數(shù)據(jù)欄可直接讀取兩個(gè)區(qū)域的面臺(tái)階高度數(shù)值。
9、臺(tái)階高度測量:線臺(tái)階高度測量。
10、進(jìn)入數(shù)據(jù)處理界面,點(diǎn)擊“提取剖面”圖標(biāo),使用合適方向的剖面線,提取目標(biāo)位置的剖面輪廓曲線。
11、進(jìn)入分析工具界面,點(diǎn)擊“臺(tái)階高度”圖標(biāo),由于所測為中間凹槽到兩側(cè)平面高度,因此點(diǎn)擊右側(cè)工具欄,測量條對(duì)數(shù)選擇“2”,將紅色基準(zhǔn)線對(duì)放置到凹槽平面中間,兩對(duì)測量線對(duì)分別放置在兩側(cè)平面,即可在數(shù)據(jù)纜讀取臺(tái)階高度數(shù)據(jù)。